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【2h】

The effect of thermoelastic damping on the total Q-factor of stateof-the-art MEMS gyroscopes with complex beam-like suspensions

机译：热弹性阻尼对具有复杂梁状悬架的最新MEMS陀螺仪总Q因子的影响

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Künzig T.; Niessner M.; Wachutka G.; Schrag G.; Hammer H.;
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年度 2010
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