(La_(1-x)Sr_x)VO_3/p-Si(100)の接合の作製と電気特性評価

摘要

近年、遷移金属酸化物が次世代のエレクトロニクスデバイス材料の候補として注目されている。これらの物質は、強相関電子特性（磁性、超伝導、マルチフェロイクス、金属絶縁体転移等）を有しており、これをFETデバイス等へ応用することで微細化に依らないエレクトロニクスデバイスの高性能化が実現できると考えられている1。