磁気Kerr 効果を用いた磁歪式トルクセンサの軸表面磁歪膜特性評価

摘要

磁歪材料の特性評価は，磁気Kerr 効果顕微鏡を用いた動的な磁区観察，あるいは磁気特性（B-H カーブなど）の評価が挙げられる。一般的な磁区観察では平面の磁歪材料を観察するが，本研究の磁歪式トルクセンサの場合，磁歪材料は円柱状の軸表面に成膜されるため，センサ特性の精確な評価には，曲面上でかつトルクが印加された状態の磁区観察が必要になる。本稿では，新たに開発した磁気Kerr 効果顕微鏡を用いて軸表面の磁歪材料の動的な磁区観察手法および結果について述べる。