Weisslichtinterferometrie in der Produktionslinie: Parallele Verarbeitung fur schnelle und robuste Messungen

摘要

Die verfahrende Weisslichtinterferometrie ist eine etablierte, flachenhafte, beruhrungslose optische Messmethode, welche 3-dimensionale Profilmessungen mit Auflosungen im Bereich von Nanometern erlaubt. Die Messmethode stellt hohe Anforderungen an Datendurchsatz, Dynamikbereich und mechanischem Aufbau. Durch Gleichanteilunterdruckung, Pixel-parallele Demodulation des Interferenzsignals und parallele Nachverarbeitung auf der Kamera gelingt es, die Weisslichtinterferometrie, welche typischerweise auf Forschung und stich-probenhafte Prufung limitiert ist, in die Produktionslinie zu integrieren.