triangulation distance sensor; wafer-bending; prealignment; three-dimensional structure;
机译:通过在金属铰链处弯曲带有光学元件的硅晶圆实现的紧凑型三角测量传感器
机译:晶圆弯曲构造紧凑的三角测量传感器阵列
机译:弯曲器件晶圆实现微镜可调垂直梳
机译:通过金属铰链弯曲晶圆实现紧凑的三角测量传感器
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:基于弯曲传感器的风压金属屋盖变形检测与修复
机译:一种利用深反应离子刻蚀(DRIE)和对准晶圆键合实现集成惯性传感器的工艺技术