机译:晶圆弯曲构造紧凑的三角测量传感器阵列
Dept. of Nanomechanics Engineering, Tohoku University, Aramaki 6-6-01 Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan;
triangulation distance sensor; wafer bending; prealignment; three-dimensional structure; optical metrology;
机译:通过在金属铰链处弯曲带有光学元件的硅晶圆实现的紧凑型三角测量传感器
机译:集成了阵列集中器的紧凑型大功率硅晶片太阳能条电池阵列模块
机译:使用紧凑的基于数组的三角形数据结构对CAD数据进行三角剖分以进行可视化
机译:通过金属铰链弯曲晶圆实现紧凑的三角测量传感器
机译:利用压电晶片有源传感器导波相控阵进行现场结构健康监测。
机译:使用压电晶片传感器阵列的多层复合材料健康状况快速多损伤识别
机译:基于显式数组的紧凑数据结构的三角剖分