attitude measurement; capacitive sensors; etching; microsensors; 3D devices patterning; capacitive tilt sensor; film deposition; lift off process; quartz based sensor; resist undercut profile;
机译:贴装工艺可提高电容式CMOS MEMS 2轴倾斜传感器的灵敏度
机译:基于流体的电容式倾斜传感器,可在360度以上的情况下进行高精度测量应用示例:挖掘机的3D控制
机译:低温固溶处理的铟锡氧化物薄膜及其在柔性透明电容式压力传感器中的应用
机译:一种新颖的提离过程及其在电容式倾斜传感器中的应用
机译:用于化学过程的电传感器:基于纳米孔电导变化的电容感应光诱导的分子内电荷转移反应和通用生物亲和力传感器。
机译:灵敏度提高的分段环形共面电容式倾斜传感器的分析
机译:石英MEMS微制造技术的发展及其在电容式倾斜传感器中的应用