非結晶Ga-Sn-O薄膜熱電変換素子の特性評価

摘要

工場や自動車、PCなどから発生する排熱の多くは未利用の状態である.熱電変換素子はその熱エネルギーを電気エネルギーに変換することが可能であり，クリーンな発電方法として注目されている。そのなかで透明性ゃフレキシブル性を持つ熱電材料は窓ガラスを利用した発電やIoTセンサなどへの応用が可能である.そこで我々は透明性とフレキシブル性を持つレアメタルフリー酸化物半導体のGTO薄膜を用いて薄膜熱電変換素子の研究を行つている.本研究では本研究ではGTO熱電変換素子のァニール，スパッタ時の酸素流量比の依存性の評価を行つた.100°C～400°Cの低温でのァニールをサンプルに施すとァニール温度200°Cまでは導電率の向上が見られ、ァニール温度が300°Cを越すと導電率が減少することが確認された.