上下空圧バルーン構造を有するマイクロ流体デバイス

摘要

近年，マイクロ流体デバイスは多くの分野で用いられており，空圧バルーンがポンプ，バルブ，細胞剥離用バルーンなどのために用いられている．文献[2]ではペプチドスクリーニングの自動化を目指したマイクロ流体デバイスのために，平行四辺形流路によるバルブを開発し，最大で100μm の流路高さまで閉じることができた．しかし，それ以上は閉じきることができないという問題があった．