MEMS; inertial sensors; damping; capacitive sensing; stator optimization;
机译:谐振工作的电容MEMS中的感应定子的优化
机译:血压测量电容MEMS压力传感器的设计与敏感性分析
机译:基于微机电系统(MEMS)基于电容式加速度计的麦克风,具有增强的灵敏度,可实现完全植入的助听器:一种新的分析方法
机译:定子几何对电容MEMS共振灵敏度的影响
机译:用于电容MEMS加速度计灵敏度表征的仅电刺激BIST IC
机译:电容式MEMS倾斜度计传感器具有宽动态范围和提高灵敏度
机译:定子几何形状对电容MEMS谐振灵敏度的影响
机译:变几何导叶和定子叶片的单级实验评估。第4部分 - 可变弯度导叶和定子B的数据和性能