resonant pressure sensor; dual resoantors; high sensitivity and linearity; vacuum package;
机译:基于QCM-Micropillar的耦合谐振器传感器系统中的谐振特性和灵敏度依赖性
机译:基于薄膜体声谐振器的双模谐振红外探测器,具有超高灵敏度和抗干扰能力
机译:基于双盘谐振器的电光谐振FSR调制器,用于增加灵敏度带宽积
机译:真空包装的谐振压力传感器,具有双谐振器,具有高灵敏度和线性
机译:集成了实用的高灵敏度回音壁模式谐振器传感器。
机译:基于双双端音叉谐振器的谐振压力微传感器
机译:具有双谐振器的真空包装谐振压力传感器,具有高灵敏度和线性度