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【2h】

Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity

机译：具有双谐振器的真空包装谐振压力传感器，具有高灵敏度和线性度

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作者
Xie Bo; Xing Yonghao; Wang Yanshuang; Chen Deyong; Wang Junbo;
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年度 2015
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