大型自由形状光学素子の表面計測を可能にする小型干渉計

摘要

近年口径が優に数十メートルを超えるような望遠鏡の建造が盛hになっており、超巨大望遠鏡乱立時代が到来しているといえる。この望遠鏡の巨大化に伴う鏡の分割化も相まって、数十～百種類ほどの表面形状の分割鏡がひとつの大きな鏡を構成しなければならない。また、望遠鏡の形式によっては凹面、凸面、平面の鏡が含まれている場合もある。一方、良い像を得られる望遠鏡のためには鏡が理想の表面形状をしていることが重要であり、そうした鏡をそれぞれ製造するには求める精度で測定が可能な計測装置が必要である。