Pd-C共晶点を用いた熱電対校正技術の開発

摘要

品質管理や省エネルギー等を理由に産業界では温度計測が重要な役割を担っている。特に鉄鋼，石油，ガラス·セラミクスや発電など産業界の多くでは1000°Cを超える温度計測の需要が高まってきている。例えば技術革新著しい半導体産業においては高温酸化雰囲気における熱酸化を用いた絶縁膜の形成をはじめとするエピタキシャル成長，熱窒化などにおいて炉内温度±1°Cが要求されるようになってきた。このような高精度な温度計測に応えるためには不確かさの小さな温度校正が必要であり，比較的取扱いが容易である熱電対においても高温度標準の必要性が高まってきている。