Porous silicon; Sensor; Wet etching;
机译:通过在生物应用的HF:C_2H_5OH:HCl:H_2O_2:H_2O电解质中对n〜+型硅表面进行阳极刻蚀而形成的疏水氧化多孔硅层的表征
机译:基于DBR多孔硅的含酒精气体传感器的潜力
机译:电容式多孔硅传感器,用于在室温下测量低酒精气体浓度
机译:H_2O_2和多孔硅的酒精传感器
机译:用于测量pH的流体直通光学传感器的多孔硅技术的实现。
机译:多孔硅气体传感器:层厚度和硅电导率的作用
机译:氟化多孔硅作为环形毒性气体的传感器材料:第一原理研究