圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの適応制御

摘要

最近、圧電アクチュエータなどの優れた新型アクチュエータはナノ単位の超精密位置決め機構“ナノポジショナ”に広く応用されている．しかし，これらのアクチュエータはその動作原理からヒステリシス特性があり、位置決め精度の低下が問題となる．ヒステリシス特性は入力値の増加時と減少時で出力経路および出力値が異なり，かつ飽和性も持つ非線形特性である．このようなヒステリシス特性を持つ圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの位置決めは困難である．