ワイドギャップ半導体パワーエレクトロニスの進展と高密度実装技術

摘要

電力エネルギーの発生/輸送/貯蔵/消費とその過程での効率的な変換技術や制御技術、即ちパワーエレクト ロニクス（パワエレ）とその基幹部品であるパワー半導体における技術革新は、今後の人類社会での省エネ と持続的発展の両立に不可欠と認知されている。パワエレには広範な応用分野が存在し、そこで用いられる パワー半導体/モジュールも容量/サイズや機能の点で多種多様であるうえに、従来のマイクロエレクトロニク スと比べて搭載機器の低損失性や小型軽量性、高信頼性により厳しい要求が存在するなど、特有の技術開発 が必要となる。しかし、Si パワー半導体がその物性的限界に近づきつつあることから、材料物性に優れたSiC などのワイドギャップ半導体を用いたパワエレ技術の抜本的革新が大きく注目されるようになってきた。