湿式めっき?真空ガス浸炭複合法による炭化タングステン硬質薄膜形成に及ぼす熱処理条件の影響

摘要

炭化タングステン（以下WC）は高硬度，耐摩耗性と いった特性に優れることから，切削工具や金型材料，耐 摩耗部品などに利用されている．一方，WC は前述した 特性から単体での成形，加工が困難であるため，Co，Fe， Ni 等の鉄系金属を結合相とした超硬合金として用いら れている1)．また，W およびCo は産出地の偏在による 供給の不安定さやそれに伴う価格面に問題があるため， W の使用量削減を可能とする新たなWC 製品形成プロ セスの確立が求められている．このような背景から，近 年では薄膜形態でのWC 利用が注目されている．