Femtosecond laser; High aspect ratio; Microstructure fabrication; Bessel beams;
机译:定制飞秒1.5-μm贝塞尔梁,用于制造高纵横比通过硅通孔
机译:使用飞秒激光贝塞尔光束通过电子密度控制实现高纵横比,高质量的微钻孔
机译:使用贝塞尔光束活化的光聚合制备高纵横比结构
机译:通过飞秒贝塞尔梁在碳化硅中的高纵横比结构变化微导致的制造
机译:飞秒脉冲激光烧蚀和硅衬底上用于MEMS制造的3C碳化硅膜的图案化。
机译:量身定制飞秒的1.5μm贝塞尔光束以制造高纵横比的硅通孔
机译:应力集中的高纵横比单晶碳化硅显微样品的制备和概率断裂强度预测
机译:具有应力集中的高纵横比单晶碳化硅微样品的制备和概率断裂强度预测