新規プラズマ窒化法によるTi合金の表面硬化

摘要

チタン合金はその高い耐食性のため，医療機器をはじめとする精密機器の部品などに用いられているが，さらに過酷な条件下での用途にも応えるための表面改質が注目されている。そのなかでも窒化法は重要な表面改質法の一種であり，チタン合金において不十分な耐摩耗性などの諸性質を改善する効果がある1）。また，チタンの窒化物であるTiNはその特有な金色から、装飾にも広く用いられている。そこでプラズマ窒化処理を用いて行う表面改質が考えられる。そのなかでもアクティブスクリーンプラズマ窒化処理法叩は，かご状の金属製スクリーンの内部に処理材を設置して行う処理である。スクリーンを陰極とするため，処理材を絶縁して行うことができる。したがって，処理材を絶縁して処理を行った場合，エッジ効果の問題を解消し，比較的均一な窒化層を形成することが可能である。こうした高品質な処理が可能であるという利点を有するアクティブスクリーンプラズマ窒化仏SPN）処理法は，さらに気相蒸着法と組み合わせた複合硬化処理によって，より高機能。高品質な表面改質層が形成できると期待される.