FSW製大型厚肉枠の開発＆FSWによるヒータ埋設技術

摘要

液晶テレビの普及および大型化に伴い，液晶パネルのコスト低減を目的として液晶製造装置の大型化が進hだ。2000年にはGlサイズ（ガラス基板300mm角）であった装置が2008年にはG10サイズ（ガラス基板3，000mm角）まで大型化した。その液晶製造装置の部品には多くのアルミ合金板が利用されており，その多くは大型厚板を切削加工した部品である。その中からスパッタリング装置の反応室に使用されている大型枠形状部品に着目した。大型枠部材はアルミ厚板を切削加工して製品化されるが，元素材の80％以上がアルミ屑となる課題があった。また，部品の大型化に伴い元素材の調達が困難となるので，真空チャンバーと同様に溶接で枠形状素材を製作して欲しいとのニーズがあった。そこで，資源の有効利用とコスト低減を目的として4本の枠素材（棒材）を接合して，大型厚内枠を製作することを試みた。