GLAD 法による Fe-Pd 形状記憶合金薄膜の作製とその磁気的特性の評価

摘要

近年，生体中のガン細胞や脳卒中をモニタリングすることを目的とした磁性ナノ粒子の開発?研究例が急増している．ここで，磁性ナノ粒子を磁性形状記憶合金とすることで、磁場印加により伸縮変位をコントロールする優れた機能性ナノ粒子が期待される．本研究では，生体適合性に優れかつ室温付近で可逆的マルテンサイト変態を示すFe-30at%Pd（以下Fe-Pd）に着目し，イオンビームスパッタ蒸着を用いた斜め堆積法（以下GLAD）によりFe-Pdナノピラーの生成条件を明らかとするとともに，それらナノピラーの結晶配向性と磁気特性を調査することを目的とした．