( P101-P0136) 多元分離式スパッタリング法により作製したCo-Sr-F ナノ複層薄膜のトンネル磁気誘電特性

摘要

本研究グループでは、MgF2 セラミックスマトリックス中にFe-Co ナノ粒子を分散させたFe-Co-Mg-F ナノ複相薄膜において、磁場の印加により誘電率が変化するトンネル磁気誘電(TMD)効果を見出した[1]。本講演では、マトリックスにMgF2(-1124 kJ/mol)と同じくⅡa 族元素のフッ化物であり生成熱が大きくナノ複相構造の生成が期待できるSrF2(-1218kJ/mol)を用いて、Co-Sr-F ナノ複相薄膜を作製した。得られた薄膜の組成、膜構造と誘電特性、磁気特性及びTMD 効果を調べた。