圧電トランス型プラズマリアクタの表面電位分布測定－締め付けトルクがPT表面電位に及ぼす影響

摘要

著者らはこれまでに、PTを用いたDBD型リアクタの背後電極を振動方向に分割することによってPT表面電位分布や放電電力空間分布を測定した結果を報告した。本報告ではPTを固定する際の締め付けの強さによってどのようにPT2 次側電圧と表面電位分布が変化するかを調査したのでその結果を述べる。