Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf Wafergrosse

摘要

Die Technologie der Zwei-Photonen-Polymerisation ermoglicht die Generierung von sehr kleinen Strukturen auf Nanometer-Skala. Die etablierten Verfahren begrenzen den Einsatz der Strukturen auf Forschungsmuster und Grundlagenforschung. Durch das innovative Maschinenkonzept von TETRA werden die bisherigen Grenzen gebrochen, was den Weg fur eine industrielle Herstellung von dreidimensionalen Mikro- und Nanometerstrukturen bereitet.