Die Uberfuhrung der derzeit planaren LTCC-Mehrlagenkeramiktechnologie in geformte, dreidimensionale Schaltungstrager eroffnet neue Anwendungsfelder zum Echtzeit- Monitoring unter rauen Umweltbedingungen. Mit hoher Reproduzierbarkeit und sehr guter Formtreue in engen Toleranzgrenzen kann die etablierte 2,5 dimensionale Technologie in die 3. Dimension uberfuhrt werden. Diese Technologieerweiterung und die damit verbundene Anpassung an weiterfuhrende Prozessierungsmoglichkeiten ist Gegenstand dieser Arbeit.
展开▼