Methode fur den Vorhalt von inhomogenen Schwindungen im Entwurfsprozess von LTCC-Mikrosystemen

摘要

Die Fertigung von LTCC-Mikrosystemen erfolgt typischerweise im Mehrfachnutzen, wodurch eine hohe Anzahl gleich-artiger Komponenten effizient hergestellt werden kann. Vorangegangene Arbeiten zeigen, dass die einzelnen Komponenten im Mehrfachnutzen wahrend des Einbrandes des keramischen Materials nicht homogen schwinden. Als Folge mussen dadurch MaBabweichungen zwischen den einzelnen Komponenten toleriert werden, welche fur eine Mikrotechnologie nicht gerechtfertigt sind. Der Beitrag fuhrt eine Methode ein, die inhomogene Schwindung im Entwurf der LTCC-Mikrosysteme vorzuhalten, um die MaBabweichung zu reduzieren. Dazu wird die Schwindung ortsabhangig uber dem Mehrfachnutzen erfasst, ausgewertet und wahrend des Entwurfs ortsabhangig berucksichtigt. Die Auswirkung des ortsabhangigen Schwindungsvorhaltes auf die Funktionenhomogenitat von LTCC-Mikrosystemen eines Mehrfachnutzens wird am Beispiel eines miniaturisierten Kraftsensors evaluiert. Es wird gezeigt, dass die eingefuhrte Methode messbar homogenere Funktionseigenschaften der Sensoren eines Mehrfachnutzens gewahrleistet.