Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen

摘要

In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwendungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive - NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollstandig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch charakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei uber einen Frequenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung erschwert. Es werden zerstorungsfreie optische Methoden prasentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigen-schaften einzelner Aktoren ermoglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nachgewiesen werden kann.