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MEMS Aktuator-Array mit Kammantrieb und verbesserter Linearitat

机译：MEMS执行器阵列，具有梳状驱动和改进的线性度

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In dieser Arbeit wurden MEMS-Aktuatoren zur prazisen Positionierung von Mikro-Senkspiegeln in einem eng gepackten Array untersucht. Mittels FEM Simulationen und nachfolgender Auswertung wurde die Geometrie dahin optimiert, eine moglichst lineare Auslenkkurve zu erhalten bei gleichzeitig maximierter Federkonstante und Einhaltung von Fertigungsund Ansteuergrenzen verschiedener Parameter.

机译：在这项工作中，检查MEMS致动器在紧密填充阵列中进行微调镜的前后定位。通过FEM模拟和随后的评估，优化几何形状以获得具有同时弹簧常数和符合各种参数的制造和控制限制的可能线性偏转曲线。

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来源
《MikroSystemTechnik Kongress》|2019年|1(CD-ROM)|共4页
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作者
Andreas Neudert; Linda Felsberg; Peter Durr;
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正文语种
中图分类 TP2-53;
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