CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren

摘要

Herkommliche, quasi-statisch betriebene elektrostatische Mikroaktoren sind in ihrer Maximalauslenkung aufgrund des geringen Elektrodenabstandes und zusatzlich durch einen instabilen Arbeitspunkt (Pull-In-Effekt) deutlich beschrankt. Folglich werden grosse Elektrodenabstande und damit hohe Steuerspannungen fur grosse Bewegungsamplituden notig. In dieser Arbeit werden Ergebnisse zu einem von unserer Gruppe verfolgten Ansatz elektrostatischer Biegeaktoren vorgestellt, welcher mit bimorph-ahnlicher Mechanik elektrostatische Krafte in Biegebewegungen uberfuhrt. Hohe elektrostatische Krafte innerhalb sehr kleiner Elektrodenspalte konnen so fur grosse Bewegungen nutzbar gemacht werden.