In diesem Beitrag wird die Entwicklung von 120°-Doppelspiegeln, fur die Verwendung in einem MEMS-Ring-Laser- Gyroskop beschrieben. Ausgehend von den funktionalen Anforderungen und dem optischen Design des Gyroskops werden alle wichtigen Prozess- und Fertigungsschritte der Spiegelelemente beschrieben. Fur die Herstellung dieser Spiegel werden (100) Siliziumwafer verwendet, die um 5,3° in (110)-Ebene gekippt sind und daher beim nasschemischen KOH-Atzen eine Atzflanke von exakt 60° erreichen. Es wird eine 36%ige KOH-Losung mit Zugabe von Isopropylalkohol (IPA) verwendet, um gleichmassige und glatte Atzflanken zu erhalten. Zwei derartig strukturierte Wafer werden durch Siliziumdirektbonden verbunden und anschliessend in kleine Spiegelelemente zersagt, um sie anschliessend in dem Gyroskop zu montieren. Zur Verbesserung der Reflexionseigenschaften konnen die Spiegel mit einer Metallbeschichtung versehen werden.
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