In diesem Beitrag wird ein zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem mit Auflosungen unter einem tausendstel Winkelgrad in einem Messbereich von +/-2° vorgestellt. Genauigkeit und Auflosung sind dabei uber einen grossen Winkelbereichbereich konstant. Fur die Messung wird die Position einer Luftblase innerhalb einer flussigkeitsgefullten sparischen Libelle kapazitiv ausgelesen. Im Rahmen der Forschungen wurde zunachst die Geometrie der Sensorzellen rechnerisch ausgelegt, dann erfolgten der Aufbau und die Charakterisierung von ersten Demonstratoren des Inklinometersystemes. Fur die Vermessung der Sensoren wurde eigens ein Prazisions-Messplatz aufgebaut. Die Ergebnisse der Charakterisierung weisen die Leistungsfahigkeit der Technologie nach. Typische Anwendungen sind die Nivellierung von Werkzeugmaschinen oder die Uberwachung von Bauten und technischen Systemen wie z.B. Offshore-Windparks.
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