Produktionsbegleitende Prozesskontrolle und Qualitatssicherung fur die Sensorchip-Fertigung in mittleren und hohen Volumen: Konzepte und Beispiele

摘要

Bereits wahrend der Prozess-Entwicklung fur ein neues Chip-Produkt konnen die Weichen fur eine stabile Serienproduktion gestellt werden. Aus Sicht der Sensitec GmbH muss hierfur nicht nur Wert auf die Prozessstabilitat der einzelnen Fertigungsschritte gelegt, sondern auch eine Gesamtstrategie zur Uberprufung und Sicherung einer konstant hohen Fertigungsqualitat verfolgt werden. Im Folgenden wird ein von der Sensitec GmbH entwickelter Quality-Gate-Ansatz vorgestellt sowie einige der verwendeten Methoden detailliert beschrieben.