Verbesserter Herstellungsprozess fur dreidimensionale mikromechanische Sensoren aus SU-8-Fotoresist

摘要

Die technologischen Fortschritte im Bereich der Mikro- und Nanofertigung fur MEMS verlangen Messtechnik auf hochstem Niveau, insbesondere im Hinblick auf Prazision und Empfindlichkeit. Zu diesem Zweck werden am IMT hochempfindliche piezoresistive dreidimensionale Mikrokraftsensoren aus SU-8-Fotoresist fur die taktile Oberflachenvermessung entwickelt. Im Rahmen der vorgestellten Arbeit wird ein verbesserter Herstellungsprozess fur die dreidimensionalen mikromechanischen Sensoren mit doppelseitiger Strukturierung prasentiert. Die SU-8- Sensorstrukturen werden mittels UV-Lithographie und Beschichtungstechniken in Mehrlagentechnik prozessiert. Fur die Entwicklung des Herstellungsprozesses wurde, ausgehend von Opferschichten fur planare Strukturen, die Beschichtung einer Masterform im PECVD-Verfahren optimiert.