ガラス基板の帯電·除電解性に関する実験的研究

摘要

液晶ディスプレイの製造工程では、製品となるガラス基板の汚染制御が重要な課題である。しかし静電気によりガラス基板が帯電すると汚染を促進する可能性があり、その対策が重要となっている。ガラス基板の除電性能評価のためには再現性に優れた荷電方法が必要となる。本報では、ガラス基板の荷電特性について実験的な検討を行った結果を報告する。