超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発（第1報：アクチュエータの基礎特性）

摘要

そこで本研究では，新しい超精密位置決めアクチュエータとして，「空気圧サーボ軸受アクチュエータ」を提案する。具体的には，静圧軸受への供給圧力をサーボ弁によって変化させ，軸受すきまの変化を出力変位として得る機構である。本アクチュエータは，軸受部が剛性を有するため，位置フィードバック制御をすることなく，ある程度の位置決めが可能であるという特長を持っている。また，温度変化も少なく，ドリフトやヒステリシスを生むような不確定な要因が少ないことも特長である。静圧軸受を用いた超精密位置決め機構として，近年，いくつか提案されているものもある。しかしながら，軸受への供給圧力を直接変化させ，超精密位置決めを実現させているものは見当たらない。本報では，提案するアクチュエータの作動原理，基礎特性を明らかとし，位置決め機構としての有用性を検討するものとする。