旋盤型電解放電加工によるガラスの加工(第3報)細軸加工のための電極送り

摘要

近年，ナノテクノロジー，バイオテクノロジー情報通信のためのデバイスの研究が盛hに行われている．これらの分野では，ガラス，圧電セラミックスなどの無機絶縁体が重要な役割を果たすが，金属などの導電体の加工法に比べ，無機絶縁体への微細加工法は進展が遅れている．これまでに，ガラスやセラミックなどの絶縁性材料を軸対称形状に加工する旋盤型電解放電加工機が試作されている．本報では，細軸加工を行うことを目的とし，定速送りと定圧送りを比較した結果について述べる．