Ta の微細穴あけ加工における切削抵抗の測定と加工現象に関する研究

摘要

近年，電子機器など工業製品の小型化·高精度化に伴い，微小径ドリル加工の需要が高まっている．また，材料においても，コンデンサーに用いられているTa 等の高い難削性材料の要求が増加している．しかし，微小径ドリル加工には様々な問題点がある．例えば，微小径であるため工具の刃先剛性が低く，切りくず詰まりなどによる折損や切れ刃の欠損に至りやすいことである．特に難削性が及ぼす影響は微小径ドリル加工において極めて大きいと考えられる．またドリル特有の問題点として，加工中に切削部を目視することができず状態の把握が困難なことなども挙げられる．本報では，Ta における切削条件が加工現象に与える影響について検討したので報告する．