ガラス系材料用研磨スラリーの分散·凝集状態と研磨パッド表面の組み合わせの研磨能率への影響について

摘要

研磨メカニズム解明と研磨能率向上を図るため，筆者らはレーザ顕微鏡と大気圧走査型電子顕微鏡(ASEM)を用いた新しい湿式顕微鏡観察法を提案し，その有用性を確認したうえ，ガラス系材料用研磨スラリーに対し沈降特性，分散·凝集特性及び研磨特性の検討を行っている．これまでは複数種類の性質の異なった分散剤を用い，研磨スラリーの分散·凝集特性の制御及び研磨特性への影響を検討した結果，ヘキサメタ燐酸ナトリウム（HMP）の場合，添加率によってセリア砥粒の液中における分散·凝集状態が異なるパターンを示すことと，そのパターンが研磨能率と興味深い関係を示すことを報告した．今回は，この分散·凝集特性と研磨能率の関係の理由として，分散·凝集状態と研磨パッド表面の幾何学的特性の組み合わせによる影響を検討したので，報告する．