ディスプレイ製造工程における微細異物除去装置の開発

摘要

FPD（平面表示装置）、特に液晶ディスプレイでは、コスト削減のため、より一層の歩留まり向上が求められている。液晶ディスプレイの構成要素であるカラーフィルタ基板やTFT 基板を製造する工程で基板表面に異物等が付着、あるいは成膜内に異物が混入する欠陥が発生する場合がある。このような異物による欠陥を、効率良く、さらに正常なパターンへの影響が少ない状態で修正する、微細異物除去装置（図1）を開発したので報告する。