非接触精密光コム距離測定技術の開発（第２報）～ 2 台の光コムと周波数シンセサイザを用いた測距

摘要

製品や施設の寸法を高精度に計測するための精密測距技術は、製品寸法の高品質化に必須の技術となっている。距離計測器が実際に使用されている大型施設や航空機の生産現場においては、遠方から、非接触かつ高速で、高分解能（10 μm）に測距を行う計測手法が求められている。本研究では、光コム2 台と周波数シンセサイザを利用する計測手法を提案している。Rb 発振器によって安定化されているので、光コムのセルフビートは不確かさが非常に小さい(本研究では10~(-10))という特徴がある。これを利用して計測精度を高めることができる。また、周波数シンセサイザもRb 発振器によって安定化されているので、測距対象に応じて測距に用いる周波数を周波数シンセサイザが出力する信号の周波数を変更するだけで簡単に選択することができる。また、高周波(RF)発振器を用いないため、高周波(RF)発振器による周期誤差の影響を無くすことができる。