DLC被膜のトライボロジーの現状

摘要

ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)膜と呼ばれる硬質カーボン被膜は、機械、化学、光学等に関わる優れた特性を有するため、近年多分野において関心が持たれている。中でも低摩擦、低摩耗、高硬度、表面が平滑等のトライボロジーに関わる性質に優れるために、DLC膜のトライボロジー部品への適用に関心が高い。本稿では、DLC膜の概略や最近のDLC膜のトライボロジー特性等を述べ、さらにそれらの実用化の現状等について述べる。