耐高温低摩擦DLC/AlTiSiN多层复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了耐高温低摩擦DLC/AlTiSiN多层复合涂层及其制备方法，所述的DLC/AlTiSiN多层复合涂层，包括基底、基底上的过渡层、以及过渡层上的功能层；所述的功能层由DLC层和AlTiSiN层交替构成，其中，功能层的最底层和最顶层均为AlTiSiN层。本发明通过交替沉积AlTiSiN涂层和DLC涂层来制备多层复合涂层，所得多层复合涂层在有氧环境和无氧环境下均具有优异的耐高温性和抗摩擦磨损性，且可生长厚膜，有望作为保护涂层广泛应用于高温耐摩擦的场合。