一种AlTiSiN-AlCrSiN纳米晶-非晶多层复合超硬强韧涂层材料及制备方法

摘要

本发明公开了一种AlTiSiN-AlCrSiN纳米晶-非晶多层复合超硬强韧涂层材料，由结合层、过渡层、支撑层以及高温强韧耐磨层构成，其制备方法是：采用弧光离子源对经过化学清洗的基体进行刻蚀清洗，然后采用电弧离子镀方法依次沉积结合层、过渡层、硬化层、支撑层以及超强韧耐高温耐磨层。本发明充分利用纳米晶-非晶复合结构的超硬特性和高耐温特性，将AlTiSiN和AlCrSiN两种纳米晶涂层材料联合构建纳米晶-非晶多层涂层材料。涂层结构设计合理，不但有成分渐变，同时还具有硬度梯度渐变，所制备的AlTiSiN-AlCrSiN涂层与基体有良好的结合力、良好的硬度和优越的耐温耐磨性能，很好的克服了基体涂层耐温性和耐磨性不足的问题，大幅度提高了基体的使用性能，具有良好的工业应用前景。