ボールねじ新駆動方式による1nm分解能小型超精密位置決め装置

摘要

マイクロステッピングモータとボールねじ駆動による5nm分解能小型超精密位置決め装置を改良して，モータとボールねじの間に減速機を入れ，また変位センサ信号にローパスフィルタを挿入することにより1nm分解能位置決めが可能とり，ステップ応答でサブnm のかたより誤差とばらつき誤差を得た。