レーザーによる高硬度金型材料の微細加工（第2報）―フェムト秒レーザー加工における熱影響層

摘要

本研究では、パルス幅が極めて短く、照射中の熱拡散が無視でき熱影響のない精密な加工が可能とされるフェムト秒レーザーを用いて、高硬度金型材料である超硬に加工を行った。これまでの研究で、溝加工においては、フェムト秒レーザーはナノ秒のNd:YAG レーザーと比べ溶融物の堆積が少ないなどの点が分かっている。そこで今回は溝加工を発展させ、実際の金型製作を想定した型彫加工を行い、加工特性の評価を行った。また、金型の耐久性や加工精度に重大な影響を与える原因の１つである加工影響層について検討した。