非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第1報）－接触型オンマシン計測システムの高精度化

摘要

近年，デジタルカメラ，DVD や光通信デバイスなどのデジタルデバイスや情報デバイスに用いられる光学部品のニーズが増大している．金型の超精密加工（切削，研削，研磨）において，高精度な非球面や自由曲面を創成する場合，UA3P（Panasonic）などの測定機を用いて加工後の形状誤差曲線を測定し，その結果に基づいて修正加工が行われている．最近は，これらのデバイスの性能向上のため，非球面形状の高傾斜角化や非球面加工の高精度化が要求されている．そこで，本研究では新たな測定手法を用いた機上計測システムを提案したので報告する．