アクティブスクリーンプラズマ窒化装置による窒化処理挙動

摘要

バイアス電流を増加させた場合、電流増加に対して窒化処理深さが大きくなった。また、X線回折測定では、低バイアス電流における窒化層には窒化物の回折ピークが現れず、バイアス電流を高くすると窒化物ピークが現れた。