Nd:YAGレーザを用いたPLD法による酸化タングステン(WO_3)薄膜ガスセンサの作製

摘要

近年の大気汚染、水質汚濁など、地球を取り巻く環境の悪化には、目を覆うばかりである。特に，ダイォキシン問題は、マスコミに話題が揚がらない日が無いほど注目されており、身近な現実問題として一般の人々にまで捉えられてい る(1)-(11)。このような、いわゆる環境問題への注目が高まるにつれて、有害な化学成分の排出基準が益々強化されつつある。これらの化学成分の内、大気汚染ガスに限ってもCO_2,NO_x, SO_x, O_3およびフロン等、その規制対象となるガス成分は多岐にわたる。これらの排出量を低減するために、発生 源である各種機器の特性改良や発生したガスの分解装置の研究開発が活発に行われているが、それらの機器や装置の 作動条件を適正に制御するための各種ガスセンサも、その高性能化が強く要望されている。