脉冲激光沉积锐钛矿相二氧化钛薄膜用于气体传感器

摘要

利用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃上制备了锐钛矿相TiO2 薄膜，选择金属Ti 靶材来制备薄膜。分析了在不同的衬底温度条件下制备的薄膜的结晶状态和透射光谱。结果表明在衬底温度为400℃下沉积的薄膜具有良好的结晶度和透射率，符合气体传感器的应用的要求。